近日，蘇州市、無錫市、常州市工業(yè)和信息化局共同發(fā)布2023年蘇錫常首臺（套）重大裝備擬認定公示名單。創(chuàng)微微電子（常州）有限公司的單晶圓刻蝕清洗設備成功通過公示認定，實現(xiàn)首臺套零突破。 

蘇錫常首臺（套）重大裝備認定旨在鼓勵和引導裝備制造企業(yè)開展技術創(chuàng)新，積極研制具有自主知識產(chǎn)權、整機性能或核心技術指標實現(xiàn)重大突破，達到國內(nèi)領先或國際先進水平的高端裝備和關鍵部件。該認定不僅是對企業(yè)技術實力和創(chuàng)新能力的認可，也是對企業(yè)為推動制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展所作貢獻的肯定。

創(chuàng)微微電子（常州）有限公司成立于2020年，是常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司的全資子公司、具備國內(nèi)先進技術的半導體設備制造商。公司集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體，所開發(fā)的工藝設備主要用于濕法工藝步驟，包含光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、氮化硅刻蝕、爐管前清洗等。

此次入選的單晶圓刻蝕清洗設備主要是利用清洗工藝將晶圓表面的殘留去除，殘留溶解在清洗液中，晶圓轉(zhuǎn)動提供去除殘留的離心力，在離心力的作用下清洗液攜帶殘留一起從晶圓的表面甩出，達到清洗晶圓的目的。該設備擁有多杯連動工藝腔、獨創(chuàng)的CUP（杯罩）升降機構、多藥液多功能工藝處理手臂、獨有供液方法及氣液分離結構等多項自主知識產(chǎn)權，目前已與多家知名企業(yè)達成合作意向。

首臺（套）重大技術裝備是推動制造業(yè)高端化、智能化綠色化發(fā)展的重要抓手，未來，創(chuàng)微微電子（常州）有限公司將加快推動重大技術裝備攻關進程，進一步加強首臺（套）重大裝備研發(fā)應用，為裝備制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展做出持續(xù)貢獻。